来源:小编 更新:2024-11-03 11:01:35
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AR抗反射层膜厚测试仪主要采用了两种测量原理:光学干涉原理和磁感应测量原理。
1. 光学干涉原理:
当一束光波照射到材料表面时,一部分光波会被反射,另一部分则透射进入材料内部。在AR抗反射层这样的薄膜材料中,光波会在薄膜的表面和底部之间发生多次反射和透射,形成一系列的光波干涉。膜厚仪会发射特定频率的光波,这些光波与薄膜的上下表面发生作用后,会返回一定的反射光和透射光。膜厚仪通过精确测量这些反射光和透射光的相位差和强度变化,就能够反推出薄膜的厚度。这种方法精确度高,尤其在需要了解薄膜内部性质的情况下,透射法能够提供更准确的数据。
2. 磁感应测量原理:
磁感应测量原理基于磁感应定律和磁通量的变化来测定抗反射层的厚度。当仪器的测头靠近被测样本时,测头会产生一个磁场,这个磁场会经过非铁磁性的抗反射层,进而流入铁磁性的基体。在这个过程中,磁通量的大小会受到抗反射层厚度的影响。膜厚仪通过精确测量磁通量的变化,可以推算出抗反射层的厚度。这种方法具有通用性,可以适用于不同类型的材料和薄膜。
综上所述,AR抗反射层膜厚测试仪结合了光学干涉和磁感应测量两种原理,能够准确、可靠地测量出抗反射层的厚度,为相关行业提供有力支持。